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SRT300 – 单片导片机(独立式)
2013-11-13
SRT300–单片导片机(独立式)世界晶圆传送设备主要厂商RECIF生产的无真空晶圆边缘接触或晶圆背面三点接触式超清洁导片机。本设备自带FFU环境,洁净度达到0.1级本产品集成晶圆定位和晶圆刻号读写功能在传送手臂上,所以本产品具有体积小,传送效率高和最低的生产成本。可选择配置2,3或4个晶圆盒装载台。SRT300–wafersorter(standalone) Vacuumfreeedgecontactwaferhandling。Class0.1mini-environment–InhousedevelopedFFUPatentedembeddedalignmentandIDreadingonfinger。Smallestfootprint2to4FOUPconfigurationavailable.
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SPP200S – SMIF型导片机
2013-11-12
请参阅: http://www.reciftech.com/index.php?id=89&id_cat=3&id_prod=11pleaseseedetailsat: http://www.reciftech.com/index.php?id=89&id_cat=3&id_prod=11
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ESR300 – 单片导片机(集成式)
ESR300–单片导片机(集成式)本产品可以和市场上主要的晶圆储存系统(waferstocker)集成在一起,以帮助客户减少生产成本。可选择配置2或4个晶圆装载台 ESR300–wafersorter(embeddedwithstocker)Itcanbeembeddedwithstocker,reducefabrunningcost。PatentedembeddedalignmentandIDreadingonfinger2or4FOUPconfigurationavailable
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BPP300 – 25片整批导片机
BPP300–25片整批导片机 RECIF专利–无真空晶圆边缘接触式整批导片机,可以实现25片晶圆一次转移到另一晶圆盒。每小时可导片2,800片。 BPP300–25transfersystemRECIFpatented–Vacuumfreeedgecontact25waferstransfersystem,Transfer25wafersatonceThroughput–2800WPH。
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SPP200D – 非SMIF型导片机
详情请参阅:http://www.reciftech.com/index.php?id=89&id_cat=3pleaseseedeatilsat:http://www.reciftech.com/index.php?id=89&id_cat=3
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SPP200 – 单片导片机
SPP200–单片导片机本产品使用非真空技术,可以从同一晶圆盒取放晶圆,或从一晶圆盒取晶圆,但放到另一晶圆盒里.使用单一晶圆手臂,在保证晶圆安全下,和晶圆背面有最少的线性接触.本产品由纯净有机材料制成,具有静电保护功能,所有符合SEMI标准的晶圆盒都可以使用 SPP200–wafersorterRECIFpatentedvacuumfreeedgecontact,embeddedwaferalignmentandIDreading.Transferwaferfromonecarriertoanothercarrier.
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BPP200 – 整批导片机
BPP200–整批导片机本产品使用无真空技术晶圆整体从一个晶圆盒拿出,放到另一个晶圆盒里实时晶圆安全监测可以选择一个或两个晶圆盒放置台 BPP200–BatchwafertransferVacuumfreeedgecontactTransferbatchwafersOneortwoloadportoptional